测定超痕量元素和同位素比值的仪器。由等离子体发生器，雾化室，炬管，四极质谱仪和一个快速通道电子倍增管(称为离子探测器或收集器)组成。其工作原理是:将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化，解离出离子化气体，通过铜或镍取样锥收集的离子，在低真空约133.322帕压力下形成分子束，再通过1~2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系，可测出元素的含量或同位素比值。其优点是:具有很低的检出限(达ng/ml或---)，基体效应小，谱线简单，电感等离子体质谱仪，能同时测定许多元素，动态线性范围宽及能快速测定同位素比值。地质学中用于测定岩石、矿石、矿物、包裹体，电感等离子体质谱仪报价，地下水中微量、痕量和超痕量的金属元素，某些卤素元素、非金属元素及元素的同位素比值。
电感耦合等离子体质谱仪(简称icp-ms)，是20世纪80年代发展起来的一种新的微量(10-6)、 痕量 (10-9)和超痕量(10-12) 元素
样品进行icp-ms分析时一般经过以下四步：
1）分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入ya气流中，然后进入由射频能量激发的处于---压下的ya等离子体中心区；
2）等离子的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离；
3）部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统，在真空系统内，电感等离子体质谱仪厂家，正离子被拉出并按其质荷比分离；
4）检测器将离子转化为电子脉冲，然后由积分测量线路计数；电子脉冲的大小与样品中分析离子的浓度有关，通过与已知的标准或参比物质比较，实现未知样品的痕量元素定量分析。
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