样品进行icp-ms分析时一般经过以下四步：
1）分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入ya气流中，然后进入由射频能量激发的处于---压下的ya等离子体中心区；
2）等离子的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离；
3）部分等离子体经过不同的压力区进入真空系统，在真空系统内，正离子被拉出并按其质荷比分离；
4）检测器将离子转化为电子脉冲，然后由积分测量线路计数；电子脉冲的大小与样品中分析离子的浓度有关，国产icp-ms生产厂家，通过与已知的标准或参比物质比较，国产icp-ms，实现未知样品的痕量元素定量分析。
icp-ms仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，与发射光谱中使用的基本相同。所使用的分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆gc-ms仪器相类似。分析器多采用四极杆质谱计，国产icp-ms经销商，也有采用具有高分辨的双---扇形磁场质谱计、飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；线性范围可达7～9个数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于元素分析，还可进行同位素组成的快速测定；测定精密度(rsd)可到0.1%。
主要应用:可以同时对有机、无机类材料、生物样品、矿物、土壤、食品、金属、水等其它一切能转变为无机酸溶液的试样中的金属元素和部分非金属元素进行微量、痕量以及超痕量定性、定量分析。广泛应用于半导体、超纯试剂、生物学、食品、卫生、环境、地址、高纯材料、形态分析等领域。
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