icp-ms仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，与发射光谱中使用的基本相同。所使用的分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆gc-ms仪器相类似。分析器多采用四极杆质谱计，也有采用具有高分辨的双---扇形磁场质谱计、飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；线性范围可达7～9个数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于元素分析，还可进行同位素组成的快速测定；测定精密度(rsd)可到0.1%。
采用电感耦合等离子体质谱进行检测，根据元素的质谱图或特征离
1、按分析目的可分：电感耦合等离子体实验室质谱仪和电感耦合等离子体工业质谱仪。
2、按结构可分：台式电感耦合等离子体质谱仪和落地式电感耦合等离子体质谱仪。
3、按分析规模可分：小型电感耦合等离子体质谱仪和大型电感耦合等离子体质谱仪。
4、按分辨率可分：低分辨电感耦合等离子体质谱仪、中分辨电感耦合等离子体质谱仪和高分辨电感耦合等离子体质谱仪。
5、按用途可分：电感耦合等离子体矿石质谱仪、电感耦合等离子体钢铁质谱仪、电感耦合等离子体合金质谱仪、电感耦合等离子体重金属质谱仪和电感耦合等离子体稀土质谱仪等。
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