电感耦合等离子体质谱仪(icp-ms)工作原理是根据被测元素通过一定形式进入高频等离子体中，在高温下电离成离子，产生的离子经过离子光学透镜---后进人四极杆质谱分析器按照荷质比分离，国产电感耦合等离子体质谱仪生产厂家，既可以按照荷质比进行半定量分析，电感耦合等离子体质谱仪厂家，也可以按照特定荷质比的离子数目进行定量分析。该类型质谱仪主要由离子源、分析器和检测器三部分组成，还配有数据处理系统、真空系统、供电控制系统等。
常用的进样方式是利用同心型或直角型气动仪器产生气溶胶，在载答气载带下喷入焰炬，样品进样量大约为1ml/min，是靠---泵送入仪器的。
仪器将溶液样品送入等离子体光源，在高温下汽化，解离出离子化气体，通过铜或镍取样锥收集的离子，在低真空约133.322帕压力下形成分子束，再通过1～2毫米直径的截取板进入四极质谱分析器，经滤质器分离后，到达离子探测器，根据探测器的计数与浓度的比例关系，可测出元素的含量或同位素比值。
icp-ms全称是电感耦合等离子体质谱仪，主要用途是进行化学元素分析检测，---是对金百属元素分析擅长，也能分析b、p、as等非金属元素。他度和icp-oes、aas是化学元素分析的常用的三种仪器，icp-ms的检测限较低，可以达到ppt（10的负12次方问）级。
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(1) 通过谱线的质荷之比进行定性分析;
(2) 通过谱线全扫描测定所有元素的大致浓度范围，即半定量分析，电感耦合等离子体质谱仪，不需要标准溶液，多数元素测定误差 小于20%;
(3) 用标准溶液校正而进行定量分析，这是在日常分析 工作中应用为广泛的功能;
(4) 同位素比测定是icp-ms的一个重要功能，可用于地 质学、生物学及中学研究上的来源的研究 及同位素示踪。
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